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光学影像仪测量硅片直径的测量规程
新闻类别:秒速时时彩平台  发布时间:2016-04-22 10:54:56

  1、清洁样品夹、螺旋测微计主轴端部和载物台的接触表面。

  2、调节光学影像仪放大器,使得放大倍数处于20倍~40倍范围内,把刻度板镶嵌到屏幕上,把样品夹固定在载物台上。

  3、按规定确定要测量的三条直径的位置。

秒速时时彩平台  4、把待测硅片固定在样品夹上,使被测直径处于测量位置,调节影像仪的焦点,使硅片边缘轮廓清晰地显示在显示屏上。

  5、调节载物台的垂直位置,以便硅片被测直径的试样图像与显示屏上水平坐标轴一致。样片显示在屏幕的右边。

  6、调节螺旋测微计,以便主轴在标准量程中心±30%移动。

  7、松开并移动样品夹,使硅片边缘的影像靠近刻度板垂直轴线。

  8、重新紧固样品夹,旋转测微计主轴进行微小平移调节,以便硅片边缘影像刚好和垂直轴线相切。注意主轴旋转方向,做最后调节。记下此时螺旋测微计读数。

  9、选择和硅片直径尺寸相当的标准长度量块,记录基准长度,清洁量块,如果多个长度量块形成一个参考长度,按照量块使用要求把他们沿合在一起。

  10、小心移动载物台,原理螺旋测微计主轴,把标准长度量块放在测微计轨道上,移动载物台,轻轻靠向标准长度量块。

  11、旋转测微计主轴,使得每一次测量的对边影像刚好与垂直轴线相切,最终调节测微计主轴旋转方向与步骤8一直,以消除主轴向后靠的影响。记录第二个测微计读数。

  12、旋转硅片,使另一条被测直径处于测量位置,重复5~11测量步骤,直至完成三条直径测量,并计算测量结果。

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